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薄膜襯底

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藍寶石(Al2O3)

薄膜襯底

主要性能參數
晶系
六方晶系
晶胞常數
a=4.748Å  c=12.97Å
密度
3.98(g/cm3)
熔點
2040℃
莫氏硬度
9
熱膨脹系數
7.5  (x10-6/ oC)
熱導率(卡/度 厘米 秒)
 
⊥c
//c
23℃
0.055
26℃ 0.060
77℃
0.040
70℃ 0.041
介電常數
~ 9.4 @300K  at A axis ~ 11.58@ 300K at C axis
晶向
A-plane
<11-20>
2.379A
R-plane
<1-102>
1.740A
M-plane
<10-10>
1.375A
C-plane
<0001>
2.165A
晶向公差
±0.5°
常規尺寸及公差
10×3,10×5,10×10,15×15,20×15,20×20,
常規厚度及公差
0.5mm,1.0mm
拋光
單面或雙面
表面粗糙度
Ra<5Å(5×5μm)
包裝
100級潔凈袋,1000級超凈室