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薄膜襯底

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鋁酸鍶鉭鑭(La,Sr)(Al,Ta)O3

薄膜襯底

主要性能參數

生長方法

提拉法

晶體結構

立方

晶格常數

a=3.868 A    

熔點(℃)

1840

密度

6.74(g/cm3

硬度

6.5(mohs)

介電常數

22

熱膨脹系數

10 x 10-6 

顏色及外觀

根據退火情況由無色到淺棕色,無鸞晶和可見疇

尺寸

10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,

Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″

厚度

0.5mm,1.0mm

拋光

單面或雙面

晶向

<100>、<110>、<111>±0.5º

Ra:

≤5Å(5µm×5µm)

包裝

100級潔凈袋,1000級超凈室