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薄膜襯底

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摻鐵鈦酸鍶(Fe:SrTiO3)

薄膜襯底

摻鐵鈦酸鍶(Fe:SrTiO3

鈦酸鍶與鈦酸鍶單晶具有相似的結構。目前我們可以提供摻鐵濃度為:0.05%,0.04%的Fe:SrTiO3單晶基片。

 

主要性能參數

晶系

方晶系

生長方法

火焰法

晶格常數

a=3.905Å

摻鐵濃度(Fe%)

0.005%,0.04%

熔點(℃)

2080

密度

5.122(g/cm3

硬度

6-6.5mohs

熱膨脹系數(/℃)

9.4×10-6

介電常數

ε=5.20

化學穩定性

在水中不溶解

熱膨脹系數

10.4×10-6/k

正切損耗

~5×10-4300k) ~3×10-477k

尺寸

10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm

可按照客戶需求,定制特殊方向和尺寸的基片

厚度

0.5mm、1.0mm

尺寸公差

<±0.1mm

厚度公差

<±0.015mm特殊要求可達到<±0.005mm)

拋光

單面或雙面

晶面定向精度

±0.5°

邊緣定向精度

2°(特殊要求可達到1°以內)

取向

<100>、<110>、<111>等

包裝

100級潔凈袋,1000級超凈室