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薄膜襯底

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摻鈮鈦酸鍶(Nb:SrTiO3)

薄膜襯底

摻鈮鈦酸鍶Nb:SrTiO3

摻鈮鈦酸鍶與鈦酸鍶單晶具有相似的結構,但NSTO具有導電性。目前我們可以提供摻鈮濃度為:0.05%,0.1%,0.5% 和0.7%的Nb:SrTiO3,

主要性能參數

Nb:SrTiO3 級別

A

B

C

D

Nb 濃度(wt%)

1.0

0.7

0.5

0.1

電阻率 ohm-cm

0.0035

0.0070

0.05

0.08

遷移率 cm2/vs

9.0

8.5

8.5

6.5

特點

Nb:SrTiO3SrTiO3單晶具有相似的結構,但NSTO具有導電性。電阻率范圍在0.1~0.001wt%之間不同。傳導的單晶基片為薄膜和器件提供了電極。

尺寸

10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,

Ф15,Ф20,Ф1″,

厚度

0.5mm,1.0mm

拋光

單面或雙面

晶向

<100>  <110>  <111>

晶面定向精度:

±0.5°

邊緣定向精度:

2°(特殊要求可達1°以內)

斜切晶片

可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片

Ra:

≤5Å(5µm×5µm)

包裝

100級潔凈袋,1000級超凈室