主要性能參數 | |
晶體結構 | 正交 |
晶胞參數Å | a=5.43、b=5.50、c=7.71 |
熔點 | 1600℃ |
密度 | 7.57g/cm3 |
介電常數 | 25 |
生長方法 | 提拉法 |
尺寸 | 10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20， |
Ф15,Ф20，Ф1″，Ф2″,Ф2.6″ | |
厚度 | 0.5mm，1.0mm |
拋光 | 單面或雙面 |
晶向 | ＜100＞ ＜110＞ ＜111＞ |
晶面定向精度: | ±0.5° |
邊緣定向精度: | 2°（特殊要求可達1°以內） |
斜切晶片 | 可按特定需求，加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜（傾斜角1°－45°）的晶片 |
Ra: | ≤5Å（5µm×5µm） |
包裝 | 100級潔凈袋，1000級超凈室 |