主要性能參數 | |
晶體結構 | 單斜 |
晶格常數 | a=5.176 Å、b=5.307 Å、c=7.355 Å |
密 度 | 5.37g/cm3 |
熔點 | 1870℃ |
介電常數 | 16-20 |
熱膨脹系數 | 2-10×10-6//k |
尺寸 | 10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20， |
dia30mm | |
厚度 | 0.5mm，1.0mm |
拋光 | 單面或雙面 |
晶面定向精度: | (100)(010)(001)±0.5° |
邊緣定向精度: | 2°（特殊要求可達1°以內） |
斜切晶片 | 可按特定需求，加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜（傾斜角1°－45°）的晶片 |
Ra: | ≤5Å（5µm×5µm） |
包裝 | 100級潔凈袋，1000級超凈室 |