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薄膜襯底

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鋁酸鑭(LaAlO3)

薄膜襯底

主要性能參數
晶系
六方(常溫)
立方(>435℃)
晶格常數
六方a=5.357A   c=13.22 A
立方a=3.821 A
熔點(℃)
2080
密度
6.52(g/cm3
硬度
6-6.5(mohs)
熱膨脹系數
9.4x10-6/℃
介電常數
ε=21
損耗正切(10ghz)
~3×10-4@300k,~0.6×10-4@77k
顏色及外觀
依退火狀況而不同,由棕黃色到褐色
拋光基片有自然孿晶疇
化學穩定性
室溫下不溶于礦物酸,溫度大于150℃時可溶于h3po4
特點
適于微波電子器件
生長方法
提拉法
尺寸
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
厚度
0.5mm,1.0mm
拋光
單面或雙面
晶向
<100>  <110>  <111>
晶面定向精度:
±0.5°
邊緣定向精度:
2°(特殊要求可達1°以內)
斜切晶片
可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
Ra:
≤5Å(5µm×5µm)
包裝
100級潔凈袋,1000級超凈室