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濺射靶材

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單晶靶材

濺射靶材

 
材料
純度
最大尺寸
Al2O3
4N
Dia3〞
MgO
4N
Dia2〞
SrTiO3
4N
Dia30
Si
5N
Dia4〞
SiO2
5N
Dia4〞
Ge
5N
Dia4〞，Dia2〞
LaAlO3
4N
Dia2〞，Dia3〞

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